1樓：狂妄丶鬼秀兒
簡介真空鍍膜 在真空中製備膜層，包括鍍制晶態的金屬、半導體、絕緣體等單質或化合物膜。雖然化學汽相沉積也採用減壓、低壓或等離子體等真空手段，但一般真空鍍膜是指用物理的方法沉積薄膜。真空鍍膜有三種形式，即蒸發鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。
蒸發鍍膜
通過加熱蒸發某種物質使其沉積在固體表面，稱為蒸發鍍膜。這種方法最早由m.法拉第於2023年提出，現代已成為常用鍍膜技術之一。
蒸發鍍膜裝置結構如圖1。 蒸發物質如金屬、化合物等置於坩堝內或掛在熱絲上作為蒸發源，待鍍工件，如金屬、陶瓷、塑料等基片置於坩堝前方。待系統抽至高真空後，加熱坩堝使其中的物質蒸發。
蒸發物質的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。薄膜厚度可由數百埃至數微米。膜厚決定於蒸發源的蒸發速率和時間（或決定於裝料量），並與源和基片的距離有關。
對於大面積鍍膜，常採用旋轉基片或多蒸發源的方式以保證膜層厚度的均勻性。從蒸發源到基片的距離應小於蒸氣分子在殘餘氣體中的平均自由程，以免蒸氣分子與殘氣分子碰撞引起化學作用。蒸氣分子平均動能約為0.
1～0.2電子伏。
蒸發鍍膜
通過加熱蒸發某種物質使其沉積在固體表面，稱為蒸發鍍膜。這種方法最早由m.法拉第於2023年提出，現代已成為常用鍍膜技術之一。
蒸發鍍膜裝置結構如圖1。 蒸發物質如金屬、化合物等置於坩堝內或掛在熱絲上作為蒸發源，待鍍工件，如金屬、陶瓷、塑料等基片置於坩堝前方。待系統抽至高真空後，加熱坩堝使其中的物質蒸發。
蒸發物質的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。薄膜厚度可由數百埃至數微米。膜厚決定於蒸發源的蒸發速率和時間（或決定於裝料量），並與源和基片的距離有關。
對於大面積鍍膜，常採用旋轉基片或多蒸發源的方式以保證膜層厚度的均勻性。從蒸發源到基片的距離應小於蒸氣分子在殘餘氣體中的平均自由程，以免蒸氣分子與殘氣分子碰撞引起化學作用。蒸氣分子平均動能約為0.
1～0.2電子伏。
編輯本段蒸發鍍膜的型別
蒸發源有三種型別。①電阻加熱源：用難熔金屬如鎢、鉭製成舟箔或絲狀,通以電流,加熱在它上方的或置於坩堝中的蒸發物質（圖1[蒸發鍍膜裝置示意圖]
）電阻加熱源主要用於蒸發cd、pb、ag、al、cu、cr、au、ni等材料。②高頻感應加熱源：用高頻感應電流加熱坩堝和蒸發物質。
③電子束加熱源：適用於蒸發溫度較高（不低於2000[618-1]）的材料，即用電子束轟擊材料使其蒸發。 蒸發鍍膜與其他真空鍍膜方法相比，具有較高的沉積速率，可鍍制單質和不易熱分解的化合物膜。
為沉積高純單晶膜層，可採用分子束外延方法。生長摻雜的gaalas單晶層的分子束外延裝置如圖2[ 分子束外延裝置示意圖
]。噴射爐中裝有分子束源，在超高真空下當它被加熱到一定溫度時，爐中元素以束狀分子流射向基片。基片被加熱到一定溫度，沉積在基片上的分子可以徙動，按基片晶格次序生長結晶用分子束外延法可獲得所需化學計量比的高純化合物單晶膜，薄膜最慢生長速度可控制在1單層/秒。
通過控制擋板,可精確地做出所需成分和結構的單晶薄膜。分子束外延法廣泛用於製造各種光整合器件和各種超晶格結構薄膜。
濺射鍍膜
用高能粒子轟擊固體表面時能使固體表面的粒子獲得能量並逸出表面，沉積在基片上。濺射現象於2023年開始用於鍍膜技術，2023年以後由於提高了沉積速率而逐漸用於工業生產。常用的二極濺射裝置如圖3[ 二
極濺射示意圖]。通常將欲沉積的材料製成板材──靶,固定在陰極上。基片置於正對靶面的陽極上,距靶幾釐米。
系統抽至高真空後充入 10～1帕的氣體（通常為氬氣），在陰極和陽極間加幾千伏電壓，兩極間即產生輝光放電。放電產生的正離子在電場作用下飛向陰極，與靶表面原子碰撞，受碰撞從靶面逸出的靶原子稱為濺射原子,其能量在1至幾十電子伏範圍。濺射原子在基片表面沉積成膜。
與蒸發鍍膜不同，濺射鍍膜不受膜材熔點的限制,可濺射w、ta、c、mo、wc、tic等難熔物質。濺射化合物膜可用反應濺射法，即將反應氣體 (o、n、hs、ch等)加入ar氣中,反應氣體及其離子與靶原子或濺射原子發生反應生成化合物（如氧化物、氮化物等）而沉積在基片上。沉積絕緣膜可採用高頻濺射法。
基片裝在接地的電極上，絕緣靶裝在對面的電極上。高頻電源一端接地，一端通過匹配網路和隔直流電容接到裝有絕緣靶的電極上。接通高頻電源後，高頻電壓不斷改變極性。
等離子體中的電子和正離子在電壓的正半周和負半周分別打到絕緣靶上。由於電子遷移率高於正離子，絕緣靶表面帶負電，在達到動態平衡時，靶處於負的偏置電位，從而使正離子對靶的濺射持續進行。採用磁控濺射可使沉積速率比非磁控濺射提高近一個數量級。
離子鍍蒸發物質的分子被電子碰撞電離後以離子沉積在固體表面，稱為離子鍍。這種技術是d.麥托克斯於2023年提出的。
離子鍍是真空蒸發與陰極濺射技術的結合。一種離子鍍系統如圖4[離子鍍系統示意圖],將基片臺作為陰極，外殼作陽極，充入惰性氣體（如氬）以產生輝光放電。從蒸發源蒸發的分子通過等離子區時發生電離。
正離子被基片臺負電壓加速打到基片表面。未電離的中性原子（約佔蒸發料的95%）也沉積在基片或真空室壁表面。電場對離化的蒸氣分子的加速作用（離子能量約幾百～幾千電子伏）和氬離子對基片的濺射清洗作用，使膜層附著強度大大提高。
離子鍍工藝綜合了蒸發（高沉積速率）與濺射（良好的膜層附著力）工藝的特點，並有很好的繞射性，可為形狀複雜的工件鍍膜。
光學鍍膜材料
（純度：99.9%-99.9999%）
高純氧化物
一氧化矽、sio，二氧化鉿、hfo₂，二硼化鉿，氯氧化鉿，二氧化鋯、zro2，二氧化鈦、tio2，一氧化鈦、tio，二氧化矽、sio2，三氧化二鈦、ti2o3，五氧化三鈦、ti3o5，五氧化二鉭、ta2o5，五氧化二鈮、nb2o5，三氧化二鋁、al2o3，三氧化二鈧、sc2o3，三氧化二銦、in2o3，二鈦酸鐠、pr(tio3)2，二氧化鈰、ceo2，氧化鎂、mgo，三氧化鎢、wo3，氧化釤、**2o3，氧化釹、nd2o3，氧化鉍、bi2o3，氧化鐠、pr6o11，氧化銻、sb2o3，氧化釩、v2o5，氧化鎳、nio，氧化鋅、zno，氧化鐵、fe2o3，氧化鉻、cr2o3，氧化銅、cuo等。
高純氟化物
氟化鎂、mgf2，氟化鐿、ybf3，氟化釔、laf3，氟化鏑、dyf3，氟化釹、ndf3，氟化鉺、erf3，氟化鉀、kf，氟化鍶、srf3，氟化釤、**f3，氟化鈉、naf，氟化鋇、baf2，氟化鈰、cef3，氟化鉛等。
高純金屬類
高純鋁,高純鋁絲，高純鋁粒，高純鋁片，高純鋁柱，高純銅，高純銅絲，高純銅片，高純銅粒，高純鉻，高純鉻粒，高純鉻粉，高純鉻塊，鉻條，高純鈷，高純鈷粒，高純金，高純金絲，高純金片，高純金粒，高純銀，高純銀絲，高純銀粒，高純銀片，高純鉑，高純鉑絲，高純鉿，高純鉿粉，高純鉿絲，高純鉿粒，高純鎢，高純鎢粒，高純鉬，高純鉬粒，高純鉬片，高純矽，高純單晶矽，高純多晶矽，高純鍺，高純鍺粒，高純錳，高純錳粒，高純鈷，高純鈷粒，高純鈮，高純錫，高純錫粒，高純錫絲，高純鎢，高純鎢粒，高純鋅，高純鋅粒，高純釩，高純釩粒，高純鐵，高純鐵粒，高純鐵粉，高純鈦，高純鈦片，高純鈦粒，海面鈦,高純鋯，高純鋯絲，海綿鋯,碘化鋯,高純鋯粒，高純鋯塊，高純碲，高純碲粒，高純鍺，高純鎳，高純鎳絲，高純鎳片，高純鎳柱，高純鉭，高純鉭片，高純鉭絲，高純鉭粒，高純鎳鉻絲，高純鎳鉻粒，高純鑭,高純鐠,高純釓,高純鈰,高純鋱,高純鈥,高純釔,高純鐿,高純銩,高純錸,高純銠,高純鈀,高純銥等.
混合料氧化鋯氧化鈦混合料，氧化鋯氧化鉭混合料，氧化鈦氧化鉭混合料，氧化鋯氧化釔混合料，氧化鈦氧化鈮混合料，氧化鋯氧化鋁混合料，氧化鎂氧化鋁混合料，氧化銦氧化錫混合料，氧化錫氧化銦混合料，氟化鈰氟化鈣混合料等混合料
其他化合物
鈦酸鋇，batio3，鈦酸鐠，prtio3，鈦酸鍶，srtio3，鈦酸鑭，latio3，硫化鋅，zns，冰晶石，na3alf6，硒化鋅，znse，硫化鎘，硫化鉬，硫化銅，二矽化鉬。
輔料鉬片，鉬舟、鉭片、鎢片、鎢舟、鎢絞絲。
編輯本段濺射靶材
（純度：99.9%-99.999%）
金屬靶材
鎳靶（ni靶）、鈦靶（ti靶）、鋅靶（zn靶）、鉻靶（cr靶）、鎂靶（mg靶）、鈮靶（nb靶）、錫靶（sn靶）、鋁靶（al靶）、銦靶（in靶）、鐵靶（fe靶）、鋯鋁靶（zral靶）、鈦鋁靶（tial靶）、鋯靶（zr靶）、矽靶（si靶）、銅靶（cu靶）、鉭靶（ta靶）、鍺靶（ge靶）、銀靶（ag靶）、鈷靶（co靶）、金靶（au靶）、釓靶（gd靶）、鑭靶（la靶）、釔靶（y靶）、鈰靶（ce靶）、鉿靶（hf靶）、鉬靶（mo靶）、鐵鎳靶（feni靶）、v靶、w靶、不鏽鋼靶、鎳鐵靶、鐵鈷靶、鎳鉻靶、銅銦鎵靶、鋁矽靶nicr靶等金屬靶材。
陶瓷靶材
2. 陶瓷靶材 ito靶、azo靶，氧化鎂靶、氧化鐵靶、氧化鉻靶、氧化鋅靶、硫化鋅靶、硫化鎘靶，硫化鉬靶，二氧化矽靶、一氧化矽靶、氧化鈰靶、二氧化鋯靶、五氧化二鈮靶、二氧化鈦靶、二氧化鋯靶，二氧化鉿靶，二硼化鈦靶，二硼化鋯靶，三氧化鎢靶，三氧化二鋁靶，五氧化二鉭靶，五氧化二鈮靶、氟化鎂靶、氟化釔靶、氟化鎂靶，硒化鋅靶、氮化鋁靶，氮化矽靶，氮化硼靶，氮化鈦靶，碳化矽靶，鈮酸鋰靶、鈦酸鐠靶、鈦酸鋇靶、鈦酸鑭靶、氧化鎳靶等陶瓷濺射靶材。
編輯本段真空鍍膜安全操作規程
1．在機床運轉正常情況下，開動機床時，必須先開水管，工作中應隨時注意水壓。 2．在離子轟擊和蒸發時，應特別注意高壓電線接頭，不得觸動，以防觸電。 3．在用電子槍鍍膜時，應在鐘罩外圍上鋁板。
觀察窗的玻璃最好用鉛玻璃，觀察時應戴上鉛玻璃眼鏡，以防x射線侵害人體。 4．鍍制多層介質膜的鍍膜間，應安裝通風吸塵裝置，及時排除有害粉塵。 5．易燃有毒物品要妥善保管，以防失火中毒。
6．酸洗夾具應在通風裝置內進行，並要戴橡皮手套。 7．把零件放入酸洗或鹼洗槽中時，應輕拿輕放，不得碰撞及濺出。平時酸洗槽盆應加蓋。
8．工作完畢應斷電、斷水。
真空鍍膜裝置的使用步驟，學習真空鍍膜機如何操作
一 功能檢查 檢查手機外觀是否有損傷？開機檢查操作功能是否正常。二 清潔手機 1 關閉手機電源 2 用小布塊沾上適量酒精清洗手機表面，可拆卸的後蓋拆下後蓋清洗。3 啟動機器的吸塵開關，用吸塵管吸手機有縫隙 孔的地方4 關閉吸塵開關 三 選擇該手機合適的夾具 1 按手機的尺寸大小選一個合適的夾具，注意...
真空鍍膜怎麼鍍金色,真空鍍金色的材料一般是什麼
但凡涉及獲取仿金鍍層都要涉及所帶鍍層金屬鹽類。一般來說這些鹽類都是極其回不穩定的。答鍍層若在非電解質當中暴露太久都會使得表層鈍化,致使鍍層結合不好或者不能達到預期效果。所以選取適當適量的保護氣 一般採用氬或氖等常用墮性氣體 尤為重要。不過鍍層最終效果取決於很多因素,正如你所說的偏壓電源和電流。正因如...
交通事故出院後的處理流程是怎樣的
回答您好，您的問題我已經看到了，正在整理答案，請稍等一會兒哦 第五步 如果雙方協商處理沒有結果，就及時報警。等交警趕到現場，劃分完事故責任之後，再填寫完事故快速處理協議書，交通事故現場處理的整個流程就算是結束了。交通事故傷者出院後如何結案 交通copy 事故傷者出院後結案流程 1 交通事故發生後，先...