真空鍍膜時為何要襯底加熱,真空鍍膜表面為什麼有水紋

2023-01-17 08:55:43 字數 5017 閱讀 3832

1樓:匿名使用者

均勻性緻密性都好,和表面能有關,為了已經澱積的物質要再分佈

2樓:匿名使用者

這個要從薄膜生長理論來說了。我們那一章沒學。《薄膜材料與薄膜技術》。

引:襯底溫度對zno薄膜生長過程影響顯著 隨襯底溫度的升高 薄膜生長速率存在一極限值 且zno薄膜的c軸取向趨勢增強 晶粒尺寸得到細化。

3樓:匿名使用者

能量傳遞需要介質,襯底就是作為介質。

為什麼要在真空下鍍膜

4樓:九寸夕暮

滿意答案熱心問友2011-04-19所謂真空鍍膜就是置待鍍材料和被鍍基板於真空室內,採用一定方法加熱待鍍材料,使之蒸發或昇華,並飛行濺射到被鍍基板表面凝聚成膜的工藝。在真空條件下成膜可減少蒸發材料的原子、分子在飛向基板過程中於分子的碰撞,減少氣體中的活性分子和蒸發源材料間的化學反應(如氧化等),以及減少成膜過程中氣體分子進入薄膜中成為雜質的量,從而提供膜層的緻密度、純度、沉積速率和與基板的附著力。通常真空蒸鍍要求成膜室內壓力等於或低於10-2pa,對於蒸發源與基板距離較遠和薄膜質量要求很高的場合,則要求壓力更低

真空鍍膜表面為什麼有水紋

5樓:三號床鋪的四哥

因為1,你在前處理的時候酒精或者去嘖油含有水分,擦拭後未揮發完畢。

2,亞克力的也會出現類似於水紋的,是溶劑咬合素材後產生的。

3,鍍膜後有擦到鍍膜層造成的。

4.鍍膜後噴中漆擦拭造成的

一種由物理方法產生薄膜材料的技術。在真空室內材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上。此項技術最先用於生產光學鏡片,如航海望遠鏡鏡片等。

後延伸到其他功能薄膜,唱片鍍鋁、裝飾鍍膜和材料表面改性等。如手錶外殼鍍仿金色,機械刀具鍍膜,改變加工紅硬性。

在真空中製備膜層,包括鍍制晶態的金屬、半導體、絕緣體等單質或化合物膜。雖然化學汽相沉積也採用減壓、低壓或等離子體等真空手段,但一般真空鍍膜是指用物理的方法沉積薄膜。真空鍍膜有三種形式,即蒸發鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。

真空鍍膜技術初現於20世紀30年代,四五十年代開始出現工業應用,工業化大規模生產開始於20世紀80年代,在電子、宇航、包裝、裝潢、燙金印刷等工業中取得廣泛的應用。真空鍍膜是指在真空環境下,將某種金屬或金屬化合物以氣相的形式沉積到材料表面(通常是非金屬材料),屬於物理氣相沉積工藝。因為鍍層常為金屬薄膜,故也稱真空金屬化。

廣義的真空鍍膜還包括在金屬或非金屬材料表面真空蒸鍍聚合物等非金屬功能性薄膜。在所有被鍍材料中

6樓:老兵

表面水紋一般分幾種:1,你在前處理的時候酒精或者去嘖油含有水分,擦拭後未揮發完畢。2,亞克力的也會出現類似於水紋的,是溶劑咬合素材後產生的。

3,鍍膜後有擦到鍍膜層造成的。4.鍍膜後噴中漆擦拭造成的。

因為你工藝美院說清楚,所以不能幫你分析的更清楚。

7樓:

沒有清洗乾淨,建議你採用上海浸泰的清洗機來解決類似問題。

8樓:匿名使用者

你好!是鍍好的產品表面嗎?

求解絕緣材料對蒸發技術的重要性,還有澱積的注入裝置和化學品有哪些? 5

9樓:匿名使用者

所謂的真空鍍膜時被設定在真空室中的被鍍件的,加熱的材料,可以使用一定的方法鍍的電鍍材料和襯底,所以,蒸發或昇華,和飛行濺射縮合的方法,膜形成在基板表面的被鍍件。

,在真空條件下的塗布方法和分類

沉積具有許多優點:蒸發材料的原子,分子在分子碰撞在飛行基板處理可以減少,從而減少氣體中的活性分子和蒸發源材料(如氧化物,等)之間的化學反應,並以降低氣體分子在膜形成工序中的雜質的量成片,從而提供的膜密度,純度,沉積速率和粘附襯底上。一般,真空氣相沉積需要的沉積室的壓力等於或小於10-2pa為蒸發源的距離和在襯底和薄膜的質量要求高,在較低的壓力要求。

分為以下幾類:

蒸發鍍膜,濺射離子鍍。

蒸鍍:的物質通過加熱蒸發,它沉積在固體表面上,稱為蒸鍍。這種方法在2023年由m.法拉第首次提出,現代已經成為一個常用的塗層技術。

蒸發材料放置在坩堝中,作為蒸發源,如金屬,化合物等,被鍍件的工件,如金屬,陶瓷,塑料和其他襯底上的熱絲或掛起的坩堝放置在前面。直到系統被抽高真空,加熱坩堝,其中的材料煮沸。蒸發的材料的原子或分子被沉積在基板表面上凝結。

的膜的厚度可以是幾百埃到幾微米。的膜的厚度依賴於蒸發源,蒸發速率和時間(或決定裝載容量),和與距離的源極和襯底。對於大面積塗層,通常由基板或多個蒸發源旋轉的方式,以確保膜的厚度的均勻性。

從蒸發源到基板的距離應小於殘餘氣體中的氣體分子的平均自由路徑,從而使氣體分子與殘餘氣體分子碰撞引起的化學作用。約0.1?

0.2電子伏特的蒸汽分子的平均動能。

蒸發源有三種型別。 ①電阻加熱源:用難熔金屬,如鎢,鉭舟箔或絲狀通電,在它上面的加熱或放置在坩堝中蒸發的物質(圖1 [蒸發鍍膜裝置示意圖])電阻加熱的主要**材料蒸發,鎘,鉛,銀,鋁,銅,鉻,金,鎳,等。

②高頻感應加熱源:在坩堝和蒸發的材料通過感應電流加熱。 ③電子束加熱源:

適用於較高的蒸發溫度(不低於2000 [618-1])的材料,即允許蒸發的材料的電子束轟擊。的

蒸發鍍膜,具有高的沉積速率,與其他真空蒸鍍法相比,可以鍍有一個單一的系統的質量和容易熱分解的化合物膜。

分子束外延法,可以用於高純度的單晶膜的沉積。 [分子束外延裝置的示意圖在圖2中摻雜的gaalas的移動裝置的單晶層的分子束外延生長。噴射爐配備一個分子束源,在超高真空下時,它被加熱到一定溫度,在爐中的元素向基板的束狀分子流。

該襯底加熱到??一定的溫度,分子可以通過分子束外延法基板遷移,生長晶格順序在襯底上沉積的高純度化合物的單晶薄膜,膜增長最慢的,以獲得所需的化學計量比的速度可以被控制在一個單層/秒。通過控制阻尼器可以精確地製成的單晶薄膜的所需的組合物和結構。

分子束外延方法,廣泛使用製造各種光學整合器件和超晶格結構的各種膜。

濺射鍍膜:高能粒子轟擊的固體表面,使顆粒的固體表面,以獲得能源和逃脫的表面,並沉積在襯底上。濺射現象開始於2023年,自2023年以來,由於增加沉積速率逐漸應用於工業生產中使用的塗層技術。

中常用的二極體濺射二極體濺射示意圖所示的裝置在圖3中[二]。待沉積的材料的片材通常由 - 目標被固定在陰極上。的目標表面上的陽極基板被放置在遠離目標幾釐米。

抽高真空,充入的氣體(通常是氬氣),和數千伏特10-1 pa時,採用輝光放電產生的磁極之間的陰極和陽極電壓之間。在飛在電場中的放電所產生的正離子的陰極,與靶表面原子的碰撞從靶表面的靶原子逸出碰撞,稱為濺射原子,1至幾十電子伏特範圍中的能量。澱積在襯底表面上沉積的濺射原子。

與蒸發鍍膜法,濺射法是有限的,可以是從薄膜材料濺射w,鉭,c,鉬,和wc,碳化鈦,以及其他難熔物質的熔點。濺射化合物膜可以用作反應性濺射,反應氣體(o,n,hs,ch,等)被新增到的ar氣,將反應氣體和其離子與靶原子或濺射原子的反應生成的化合物(例如作為氧化物,氮化合物等)沉積在襯底上。沉積的絕緣膜,可以是一個高頻率濺射法。

被安裝在基板上的接地電極,絕緣靶安裝在相反的電極上。接地的一端通過匹配網路的高頻功率源的一端,並配備與隔直流電容電極的絕緣目標接收。後的高頻電源接通時,改變的高頻電壓的極性。

的電壓的正半週期和負的半週期中的等離子體中的電子和正離子,分別打在絕緣目標。由於電子遷移率是高的正離子,靶的表面的絕緣層是帶負電荷的,動態的平衡達到,目標是在負的偏置電位,所以,到目標的正離子濺射正在進行。採用磁控濺射沉積速率提高了近一個數量級,比非磁控濺射。

離子鍍分子的電子轟擊離子源的氣化物質的離子沉積在固體表面,稱為離子鍍。該技術d. maituokesi 2023年。

離子鍍是真空蒸鍍,陰極濺射技術的組合。 [離子鍍系統原理圖圖4中所示的一離子塗覆系統],基片作為陰極,陽極和殼體填充用惰性氣體(如氬氣),以產生輝光放電階段。電離的等離子區的分子通過從蒸發源蒸發。

基板臺加速度的負電壓的正離子擊中在襯底的表面。未電離的中性原子(約95%)的被蒸發的材料沉積在基板上或真空室壁上的表面。電場對離子化蒸氣分子(約幾百到幾千電子伏的離子能量)的加速效果,和氬離子濺射在襯底上,以使薄膜的粘合強度大大提高的清潔動作。

離子鍍工藝整合蒸發(高沉積速率)和濺射(良好的薄膜粘合)特徵的過程,而形狀複雜的工件塗層具有良好的衍射。的

膜厚度測量

隨著技術和應用的精密儀器,膜厚測量方法,按照與測量點的提高可分為兩類:直接測量和間接測量。直接測量是指在測量儀器的應用,通過直接感測的膜的厚度的接觸(或光學接觸)。

常見的直接測量:千分尺的方法,精密輪廓掃描方法(兩步法),掃描電子顯微鏡法(sem);

間接測量根據一定的物理關係,將相關的已計算出的物理量轉換為的膜的厚度,從而達到測量的膜的厚度的目的。

常見的間接法測量稱重法,。電容,電阻法律,等厚干涉法,可變角干涉,橢圓的方法。根據與測量的原則可分為三類:稱重法,電法,光學方法。

常見的稱重法:平衡法,石英,原子序數分析;

常見的電法電阻法,電容法,渦流法;

常見的光學方法有:厚干涉變數角度干涉,光吸收法,橢圓。

下面簡要介紹三種:

的干涉顯微鏡方法

干涉條紋間距δ0條紋移動δ,樓梯高為t =(δ/δ0)*0.5λ措施δ0,δ,其中λ是單色光的波長,如用白色光,λ為530nm。

2。稱重法

膜面積a,密度ρ,質量為m,可以準確測量的膜厚度t可以計算如下:

d = m /aρ。

廣泛使用中的實時測量的厚度的薄膜沉積工藝,主要用於在澱積速率和厚度監測方法的石英晶體振盪器,也可以開啟(與電子技術相結合)受控物質蒸發或濺射率,為了實現在沉積過程的自動控制。

對於膜的製造商,該產品的厚度均勻性是最重要的指標之一,要有效地控制的材料的厚度,厚度的測試裝置是必不可少的,但具體的厚度測量值,選擇哪個類裝置需要根據型別的軟性包裝材料的厚度均勻性的要求,製造商,以及裝置的測試範圍。

真空鍍膜機保養知識:

1。關閉泵供熱系統,然後分離的沉積腔室(主要是清潔灰塵蒸發殘渣)

關閉電源或計劃進入維護狀態

3。清潔繞組系統(滾子方電阻探針,光密度測量)

乾淨的油煙機室(面板4周)

泵系統冷卻清洗後(注意,不要落入的雜物,檢查泵油使用時間計更換或新增處理)

裝置和電氣櫃檢查沉重的冷這次實習給了我們理解的塗層技術原理,技術,讓我們瞭解工廠的生產,感覺很新奇,從中學到了很多。

真空鍍膜技術求解,什麼是真空鍍膜技術

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