1樓：匿名使用者
使用通用電子束**機，採用一種新的電子束微三維加工的重複增量掃碼陸描方式進行**實驗，顯影后得到輪廓清晰的微三維結構，以此為製作彈性印章的母模板，經矽烷化後可用來製作彈性印章，得到彈性印清爛章後便可再利遲正頃用軟刻蝕相關技術進行微圖形的複製。**實驗的結論表明採用電子束重複增量掃瞄方式可用來製作微三維彈性印章的母版。
2樓：網友
前者是利用利用具有選擇性的顯影劑進行顯影，溶解性。
強的抗蝕劑部分被去除，溶解性差或不溶的部分保留下來，就可以得到所需要的抗蝕劑圖形。
後者是利用電子束在塗有電子抗蝕劑的晶片上直接描畫或投影影印圖形的技術。 電子抗蝕劑是一種對電子敏感的高分子聚合物。
經過電子束掃瞄過的電子抗蝕劑發生分子鏈重組，使**圖形部分的抗蝕劑發生化學性質。
改變。 經過顯影和定影，獲得高解像度的抗蝕劑**圖形。
電子束刻蝕即毀指電子束**技術：
電子束**技術是在計算機控制下，按照加工要求的圖形，利用聚焦後的電子束對基片上的纖褲配抗蝕劑進行**，在抗蝕劑中產生具有不同溶解效能的區域，根據不同區域的溶解特性，利用具有選擇性的顯影劑進行顯影，溶解性強的抗蝕劑部分被去除，溶解性差或不溶的部分保留下來，就可以得到所需要的抗蝕劑圖形。
電子束光刻。
電子束光刻技術是推動微公尺電子學和微奈米加工發展的關鍵技術，尤其在奈米制造領域中起著不可替代的作用。
電子束光刻技術是利用電子束在塗有電子抗蝕劑的晶片上直接描畫或投影影印圖形的技術。 電子抗蝕劑是一種對電子敏感的高分子聚合物。經過電子束掃瞄過的電子抗蝕劑發生分子鏈重組，使**圖形純頃部分的抗蝕劑發生化學性質改變。
經過顯影和定影，獲得高解像度的抗蝕劑**圖形。電子束光刻技術的主要工藝過程為塗膠、前烘、電子束**、顯影和堅膜。現代的電子束光刻裝置已經能夠製作小於10nm的精細線條結構。
電子束光刻裝置也是製作光學掩膜版的重要工具。
光刻工藝的原理是什麼？
3樓：廣西師範大學出版社
光刻工藝是利用類似照相製版的原理，在半導體晶片表面的掩膜層上面刻蝕精細圖形的表面加工技術。也就是使用可見光和紫外光線把電路圖案投影「印刷」到覆有感光材料的矽晶片表面，再經過蝕刻工藝去除無用部分，所剩就是電路本身了。光刻工藝的流程中有製版、矽片氧化、塗膠、**、顯影、腐蝕、去膠等。
光刻是製作半導體器件和積體電路的關鍵工藝。自20世紀60年代以來，都是用帶有圖形的掩膜覆蓋在被加工的半導體晶元表面，製作出半導體器件的不同工作區。隨著積體電路所包含的器件越來越多，要求單個器件尺寸及其間隔越來越小，所以常以光刻所能分辨的最小線條寬度來標誌積體電路的工藝水平。
國際上較先進的積體電路生產線是1微公尺線，即光刻的分辨線寬為1微公尺。日本兩家公司成功地應用加速器所產生的同步輻射x射線進行投影式光刻，製成了線寬為微公尺的微細布線，使光刻技術達到新的水平。
4樓：科技風景線
光刻機制造，原理簡單，難點卻很多。
一電子束經電壓為v的電場加束後，求電子的德布羅意波長是多少
德布羅意波長 h p h普朗克常量 h 6.63x10 34j.s p動量 p mv 由動能定理得eu 1 2mv 2 p 2 2mek h 2meu 1 2 電子的德布羅意波長是h 2meu 1 2 經過加速電壓為400v的電場加速後的電子的德布羅意波波長為多少 由動能定理得 eu 1 2mv 2...
什麼是生物電子和生物電子工程
生物電子學是生物學與電子資訊科學相互交叉滲透所形成的一門新興學科，生物電子學的發展充分體現了上述兩個學科的相互依賴和和相互促進的關係。生物電子學研究包含兩個方面 一是研究生物體系的電子學問題，包括生物分子的電子學特性 生物系統中資訊存貯和資訊傳遞，由此發展基於生物資訊處理原理的新型計算技術 二是應用...
電子煙和香菸哪個危害大 吸電子煙和香菸，哪個危害更大？
香菸是一種菸草製品，它是把菸草烤乾之後，經過烘乾，然後切成絲，最後再用紙捲成長約120mm，直徑10mm左右的一個柱狀物。電子煙是模仿捲菸的電子產品，跟捲菸有一樣的外觀 煙霧 味道和感覺，通過霧化等手段把尼古丁變成蒸汽之後，讓使用者來吸食的一種產品。電子煙和香菸都含有尼古丁，電子煙不含有焦油，香菸含...